光罩服務(wù)
銀賽信息光罩廠提供其代工客戶和其它芯片加工廠及機(jī)構(gòu)光掩模制造服務(wù)。目前我們擁有國(guó)內(nèi)先進(jìn)的光掩模制造設(shè)施，可以實(shí)現(xiàn)0.13μm及以上水平的高端集成電路掩模生產(chǎn)和技術(shù)開(kāi)發(fā)。銀賽信息配備了先進(jìn)的設(shè)備工具，擁有行業(yè)主流的工藝生產(chǎn)設(shè)備，包括電子束曝光機(jī)、干法刻蝕機(jī)、缺陷檢測(cè)儀、缺陷修補(bǔ)機(jī)等
1、專業(yè)的光罩清洗服務(wù),針對(duì)光罩有污染及微塵清除作業(yè)
2、提供光罩檢驗(yàn)驗(yàn)證服務(wù),可確光罩品質(zhì)符合客戶需求
3、針對(duì)本身生產(chǎn)的光罩,提供覆蓋薄膜服務(wù),確保客戶可正常使用
光罩制造流程
光罩原材料是以石英玻璃為基板并涂布鉻金屬作為遮光用途。設(shè)計(jì)積體電路圖形是由電子束或雷射精準(zhǔn)曝寫產(chǎn)生的，再經(jīng)由顯影，蝕刻制程將光罩制作而成。
晶圓廠再透過(guò)微影制程技術(shù)，將光罩上之電路圖樣轉(zhuǎn)換至半導(dǎo)體晶圓上。通常一片晶圓所需電路圖樣需要由15至30片以上光罩堆疊而成
前段制程- 其中包含曝光、顯影、蝕刻與去光阻
后段檢驗(yàn)量測(cè)- CD量測(cè)，檢驗(yàn)與修補(bǔ)為了確保光罩之品質(zhì)符合要求
產(chǎn)品服務(wù)介紹
留下你的需求，我們會(huì)第一時(shí)間與您聯(lián)系
銀賽信息，中國(guó)芯片全產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)平臺(tái)
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